手套箱制作OLED器件工序详解
即有机发光二极管是一种新的显示技术，它具有宽视角（超过170°），快速响应时间（LCD的千分之一），良好的低温性能（在零下40度正常显示），低功耗等。该技术广泛应用于汽车显示器，手机显示器等。而随着OLED技术的发展，白光OLED也开始在照明领域崭露头角，尤其是在城市照明，广告牌等行业中已经寄予很高的期望。
实际上包含两种小分子OLED和聚合物OLED（也称为PLED），小分子OLED与聚合物OLED的区别主要体现在器件的不同工艺上：小分子器件主要采用真空热蒸发成膜工艺，聚合物器件采用旋涂或喷膜成膜工艺。
OLED器件的制备工艺一般包括：ITO玻璃清洗→光刻→再清洗→预处理→有机层真空蒸发→真空蒸发后电极→真空蒸发保护层→包装→切割→测试→模块组装→产品检验等流程，关键流程如下：
（1）ITO玻璃的清洗和表面处理
作为阳极的ITO的表面状态直接影响注入和有机薄膜层的界面电子态和有机材料的成膜性。如果ITO的表面不干净，则表面自由能变小，这导致沉积在表面上的材料聚集和不均匀的膜形成，必须清洁ITO玻璃的表面，用UV-O3或等离子体进行表面处理。并且ITO玻璃的表面必须在干燥或真空环境中处理，经处理的ITO玻璃不能在空气中放置太久，否则ITO表面会失去活性。
（2）真空热蒸发涂层工艺
OLED器件需要在高真空室中蒸发多层有机薄膜和金属电极，胶片的质量与设备质量和使用寿命有关，在金属真空室中，设置有多个用于放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟通常由钼和钽制成。它由诸如钨的材料制成，并且电极材料是Mg/Ag，Mg: Ag/Ag，Li/Al，LiF/Al等，并且通常是使用低功函数的活性金属。将ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品架上，并使用放置在下面的金属掩模来控制蒸发图案，并使用石英晶体振荡器来控制膜厚度。
（3）器件封装过程
真空沉积的有机金属薄膜和金属薄膜在与水和空气接触后立即氧化，导致装置性能迅速下降，因此避免与空气和水接触，OLED的包装必须在无水，无氧的惰性气氛中完成。封装材料包括粘合剂和覆盖材料，粘合剂通常是可UV固化的环氧粘合剂，并且覆盖材料主要是玻璃盖，并且在盖上添加干燥剂以吸收残留的水分。
在OLED生产过程中，所有在洁净室中，涂装过程都需要真空环境，包装过程需要无水无氧环境，因此手套箱在OLED后端封装过程中至关重要，最重要的是，尤其是具有颗粒清洁功能的手套箱，它与前部最重要的涂布机紧密相连。
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