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PECVD 系统由管式炉，石英真空室、真空系统、供气系统、射频电源系统等组成。 PECVD 系统主要应用于金属薄膜，陶瓷薄膜等，复合薄膜，石墨烯等生长。 PECVD 系统增加功能容易，可扩...[详细]
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